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影響鎢燈絲掃描電鏡性能的因素之電子光學合軸

發布時間:2021-06-10

  今天瑞盛的小编给大家带来的是关于影響鎢燈絲掃描電鏡性能的因素之電子光學合軸,一起来看下吧。


  鎢燈絲掃描電鏡的電子光學系統由電子槍、聚光鏡、物鏡以及物鏡光闌等組合而成。電子槍發射的電子一定要沿著這些部件的中心軸線穿過,因此要調節這些部件同軸,調節同軸的過程我們稱之爲合軸,合軸也稱之爲對中。合軸後圖像亮度最亮,像差最小,分辨率最高,合軸是束流穩定的一個主要因素之一。合軸主要包括電子槍合軸還有光闌合軸。


  更換鎢燈絲掃描電鏡的燈絲還有在燈絲使用過程當中,電子槍燈絲發射的電子要和聚光鏡和物鏡的光軸對中調節,稱鏡筒合軸,或者稱之爲電子槍合軸。電子槍合軸能夠機械調節或者自動合軸。合軸是通過電子源的傾斜校正及水平校正進行調節,使燈絲發射的電子與聚光鏡和物鏡的光軸重合。合軸後圖像的亮度最高。


  不同型號的鎢燈絲掃描電鏡的物鏡光闌孔徑的數量也不一樣。要得到高分辨率圖像及穩定的束流,在物鏡光闌交換還有光闌清洗之後,需要重新調整物鏡光闌孔徑的位置,使物鏡光闌孔徑位置在物鏡極靴的中心,這種調節過程稱之爲物鏡光闌合軸。物鏡光闌合軸後,電子束通過物鏡和光闌的中心。光闌位置有偏離的時候,圖像的像差會變大,沒有辦法得到高分辨率的圖像,束流也不穩定。


  光闌合軸是通過光闌的x,y方向移動旋鈕進行調節,調節後通過圖像聚焦,來觀察圖像是不是有移動,假如高倍(比方說10000X)圖像在聚焦過程當中不發生圖像移動,並且束流最大,則表示光闌合軸良好。能夠通過選定SEM的Wobbler按鈕,觀察圖像的擺動大小,然後進行x,y方向移動調節,讓圖像無移動說明合軸良好。




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